SECS GEM 介紹

SECS/GEM 的英語全文是 SEMI Equipment Communications Standard / Generic Equipment Model, 為 SEMI 所制定的一組通訊協定。 它的定義含蓋的範圍很廣, 小到設備和它的上層主機 (Host) 二者之間, 在通訊時所有需要細節; 大到一台設備在各種情境下的應有的行為。 最早用於半導體 (semiconductor) 產業, 因為對設備通訊和行為定義完備, 後來逐漸擴展到其他領域, 如: 印刷電路板 (Printed Circuit Board, PCB) 產業、 光電 (Photovoltaic, PV) 產業、 發光二極體 (LED) 產業, 與平面顯示器 (Flat-panel Display, FPD) 產業。

SECS/GEM 在半導體廠的角色

SECS / GEM 是國際通用的半導體設備通訊標準, 半導體廠的任何裝置, 小到傳感器、 大到製程生產設備, 只要生產資訊需要相關的數值, 這些裝置就必須透過 EAP (Equipment Automation Program) 連接到全廠的生產資訊系統, 而裝置與 EAP 之間就是使用 這個通訊標準來溝通, 如圖1黃色的部份。

SECS/GEM 在半導體廠內的角色
圖1 SECS/GEM 在半導體廠內的角色

由於它的技術成熟, 也已經被普遍使用在製程設備上, 因此 SECS / GEM 也逐漸擴展到一些非製程設備。 例如, 圖1右方的MCS (Material Control System) 和所對應的控制器 (Controller) 之間, 也可以常見到 SECS / GEM 的身影。 以 SECS / GEM 在半導體廠中的普及率來看, 如果說它是半導體廠的官方語言也不為過。

SECS/GEM 涵蓋範圍

當我們提到這個國際標準的時候, 習慣上通常包含了 SEMI E4 (SECS-I)、 SEMI E5 (SECS-II)、 SEMI E30 (GEM) 和 SEMI E37 (HSMS)。 這四個部份在 SECS / GEM 的整體架構的關係, 可以透過圖2來表示。

SECS/GEM架構示意
圖2 SECS/GEM 架構示意

下方的 SECS-I 和 HSMS 著重在如何收發一個訊息, 二者的差別是 SECS-I 使用 RS-232 與 RS-422 做為傳輸媒介, 而 HSMS 通常是使用乙太網為媒介。 中間的 SECS-II 則是規範了訊息的格式和內容, 稱為 SECS 訊息 (SECS Message)。 SECS 訊息依它的類別歸類, 這些類別稱為 Stream, 而每個類別裏的細部功能則以 Function 來表示, 於是不同的 SECS 訊息就被表示為 SxFy 或是 Sm, Sn。 最上層的 GEM 則是定義了一台設備在不同的情況下, 需要發出什麼樣的 SECS 訊息。

SECS/GEM 的好處

由於 GEM 定義出了一個設備行為的框架, 設備與上層主機 (如 EAP) 就可以依照這個框架, 各自分別進行開發。 對於設備廠而言, 這個規範提供了一個單一的標準, 只要使用這個標準, 便可以滿足多數的使用者。 而對於半導體廠而言, 由於各設備來自不同的設備商, 若設備商都使用同一種介面, 便能提升全廠連線的可能性與便利性。 這也是半導體產業在工業物聯網這個領域, 實施情況一直領先的重要因素之一, 也是為什麼越來越多產業開使用 SECS / GEM 使為一個通訊標準的原因。

智連工控的解決方案

雖然是一個國際性的標準, 但實務上仍有可能依設備商或半導體廠的需求做實際的調整, 例如: 使用者自定義的 Stream 和 Function, 或是特別的資料格式。 智連工控的 SECI Box 系列, 不但提供內建 HSMS 到 GEM 的功能, 更有支援自訂相關訊息, 能快速滿足各種現場實際應用的需求。