QuickGEM

符合 SECS-I / HSMS / SECS-II / GEM (SEMI E4,E5,E37, E30) 的通訊函式庫

SECS/GEM Driver
  • 符合 SEMI E4, E5, E37, E30 的 SECS-I / HSMS / SECS-II / GEM 通訊規範
  • 支援csv檔編寫SV、EC、Event、Alarm資訊，自動處理 GEM 各項訊息
  • 支援VC++、VB6.0、VB.NET 、C#
  • 適用於 Host 及 Equipment
  • 支援Windows 7/8/10